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设备可与不同类型的ATE测试机组合,实现完成晶圆WAT/CP测试,该设备,能为客户提供一个低成本且高产量的晶圆测试解决方案,满足(晶圆厂、封测厂、测试厂)等不同客户的测试需求。
设备专业应对12"、8"、6"的晶圆Si/GaN/SiC等各类器件的先进芯片性能测试,具有目前行业较高的温宽区和测试精度,可匹配多种测试应用环境.
SEMISHARE CGX半自动真空高低温探针台,专为研发和特定生产应用而设计,可实现在真空环境下,温度范围:77K-450K(液氮),10K-450K(液氦),在单片晶圆上快速完成高精度测试。
在无制冷机的情况下,温度可低至-10℃ 在有制冷机的情况下,8寸卡盘可低至-60℃,12寸卡盘可低至-55℃ 仅空气 - 无液体或 Peltier 元件 模块化系统,适应个性化测试要求定制化 无需单独的吹扫空气源 兼容所有主要的生产探针和所有主要的分析探针 提供完整的硬件和软件集成 开尔文三轴式(M),3kV或10kV同轴式连接 500A脉冲同时满足-60°C至+300°C的测试温度需求 可以保证在高达万伏的高压下超低漏电、免击穿
提供4种不同精度的亚微米级探针座供客户选择(0.1um/0.7um/2 um/10um)
固定在针座上面连接探针和信号线缆的机械装置,用于固定探针和引出信号。探针夹具会随着针座的 X-Y-Z旋钮调节而 在X-Y-Z方向线性运动。
为用户创造更多价值,每日预约前5名可以免费领取测试体验卡一张
各种半导体材料高精度测量的软件集成系统
TFT-LCD面板亮点的修复,OLED面板亮点的修复