测试技术
光电器件，是利用光-电转换效应制成的各种功能器件，光器件可分为光电芯片、光器件和光模块。光电器件的种类主要有: 光电管、光电倍增管、光敏电阻、光敏二极管、光敏三极管、光电池、光电耦合器件，LED（发光二极管）、LD（激光二极管）与光电探测器等。
这些器件广泛应用于激光器、光探测、光传输、光处理、光显示、光存储、光集成、光转换通讯、医疗、测量、信息处理、光学传感等领域。为了保证光电器件的性能和质量，需要对它们进行测试，如光电器件的各种物理、电学、光学、热力学等特性，采用各种手段进行实验检测，从而确保其性能和质量。
光电性能检测通常包括以下几个方面的测试：
1.光电响应特性测试：通过给光电器件提供光源，测量其对光信号的响应能力，包括光电流、光电压、光电转换效率等参数的测试。
2.光谱特性测试：测量光电器件在不同波长范围内的响应情况，以了解其对不同波长光信号的敏感度和选择性。
3.器件参数测试：包括光电器件的电阻、电容、电感等电学参数的测试，以评估其电性能。
4.响应时间测试：测量光电器件对光信号的响应速度，包括上升时间、下降时间等参数的测试。
目前广泛遇到的难点在于如何高效进行光芯片层面的测试。光芯片测试时，其耦合 效率低、耦合损耗大、测试方案自动化程度不高等问题成为了大家普遍的诉求，其中非工作情况下的应力测试需保证长时间的高低温环境。如Micro-LED高密度集成的LED阵列，像素点距离在10微米量级需高像素高放大倍率显微镜，对探针与针座等精度要求较高。
micro LED
移动精度可达0.7μm，漏电精度＜10pA
1、将晶圆放置卡盘后打开真空吸附，带上橡胶手套轻微移动晶圆，确认吸附牢固；
2、后调节卡盘气控式移动，丝滑的放置中央位置，来到显微镜下方；
3、在选好合适物镜下调节对焦，直至晶圆清晰图像显示在显示屏上；
4、随后操作探针座调节探针位置，使探针精确扎在相应PAD上；
5、检查夹具线缆的导通情况、测试仪的连接情况，连接好后点样品的PN极，施加电流或电压。
1、可以准确快速的定位到测试点
2、测试完可准确快速的移动到下一个测试点
3、气控式移动操作丝滑
