产品概要
C系列高低温探针台具有优异的机械系统,结构性能稳定,人体工程学设计,操作便捷,支持多功能升级,功能丰富全面。该产品主要应用于集成电路,LED,LCD,太阳能电池,半导体行业的制造和研究领域。
基本信息
产品型号 | C6/C8/C12 | 工作环境 | 高低温环境 |
电力需求 | 220VC,50~60Hz | 操控方式 | 手动 |
产品尺寸 | 长宽高:1400mm*920mm*920mm | 设备重量 | 150KG/170KG/250KG |
应用方向
高低温环境下,LD/LED/PD测试,PCB/封装器件测试,材料/器件的IV/CV特性测试、0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试、高频、射频测试等
技术特点
产品特点
> 创新的气动式卡盘XY移动平台 满足客户对整块晶圆的测试需要;提供3种快速移动方式 >三段式升降针座平台 针座平台具有用于晶圆接触,分离(300μm)和装载的三段升降功能,带有安全锁装置,可防止探头或晶圆意外损坏的同时,确保精准的接触定位 >先进的3ZOOM™成像技术 在图像中能观察到3种倍率的成像效果,无需进行倍率和镜头切换 >密闭腔结构设计 屏蔽外部电信干扰,提供更低噪声和漏电流环境,同时保持氮或正压环境下样品低温无结霜,独特的腔体吹气结构,防止低温结霜现象