晶圆IV/CV直流测试包括：同轴（coaxial）-直流参数测量，漏电低至PA级别、三轴（triaxial）-直流参数测量，漏电低至FA级别/低噪声，IV、CV、P-IV测试广泛用于测量半导体参数,尤其是晶圆级MOSFET结构等。此外利用IV、CV、P-IV测量还可以对其它类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管BJT、JFET器件,光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管和多种其它半导体器件。这类测量的基本特征非常适用于各种应用,提高工艺和器件的性能,检测工艺参数和失效分析机制等。