晶圆测试是芯片制造产业中一个重要组成部分，是主要的芯片良品率统计方法之一。随着晶圆片直径的逐渐增大且密度逐渐提高，晶圆测试的难度和成本也越来越高，也使得芯片需要更长的测试时间以及更加精密复杂的机械装置和计算机系统来执行测试工作和监控测试结果。晶圆测试最基本的一点就是：晶圆测试必须能够辨别芯片的好坏，并使合格芯片继续进入下面的封装工艺。为了确保芯片功能和成品率的有效测试，封装厂商和设备制造者需要不断探索，进而找到高精度、高效率和低成本的测试方法，并运用新的组装工艺要求对晶圆片进行探测，这些要求将引起设备和工艺过程的重大变化。

晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长，这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸，从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此，传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求，取而代之的是高速度，高精度，高自动化，高可靠性的全自动晶圆探针测试台。

技术名称：一种全自动晶圆探针台测试测量技术（Auto-High Performance™技术）

Auto-High Performance™技术提供一种全自动晶圆探针台，用于晶圆测试，包括承片台、位于所述承片台下方使所述承片台竖直运动的竖直运动部件和位于竖直运动部件下方的固定座；