专利类型：发明专利
专利号：2023105296913

Automatic probe stationTM技术，涉及晶圆检测的技术领域，尤其是涉及一种全自动晶圆测试设备及方法，包括机箱、料仓、支撑架、预定位机构及检测机构。其中，机箱内设置有分隔板，分隔板将机箱内部分隔出转运腔及检测腔；料仓设置在机箱上，机械手设置在转运腔内且靠近料仓，机械手用于转运晶圆；支撑架设置在转运腔内，预定位机构设置在支撑架上且远离料仓，预定位机构用于对晶圆的正面或背面的编号进行检测，并调整晶圆的位置；检测机构设置在检测腔内，检测机构包括卡盘及针卡夹具，针卡夹具用于夹持针卡，机械手用于将晶圆从转运腔转运至检测腔内，并将晶圆放置在卡盘上，以便于针卡对卡盘上的晶圆进行检测。本申请具有便于对晶圆的位置进行校准的效果。