激光面板亮点修复机
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型号
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Flex-85
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外形
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3,000mm(宽) x2,500mm(长) x 2,500 mm (高 )
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重量
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7500KG左右
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电力需求
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380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
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修复能力
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可修复样品尺寸
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3~85寸
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可修复范围
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显示区内任何位置
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修复时间
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120S左右每个像素(尺寸200um*100um的pixel)
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适用产品类型
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Cell段产品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模组段产品(已贴偏光片,带TP模组)
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遮光性
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修补颜色在模组背光下不可见
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平台功能
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Gantry结构
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龙门式
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X-Y-Z 行程
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2000*1200*50mm
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移动精度
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0.1um
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X-Y运动速度
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0~200mm/s
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Z 运动速度
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0~2mm/s可调
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定位
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AOI坐标自动定位
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光学特性
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光路系统倍率
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50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects
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物镜切换速度
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0.2~0.7s
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聚焦
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激光自动聚焦
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光学分辨率
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0.7um
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相机
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200W/500W像素工业相机
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激光特性
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激光系统
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激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm)
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能量调节精度
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0-1000 steps
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0-100%
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激光波长
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1064nm,532nm,355nm
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脉宽
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500fs
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光斑尺度
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0.8~1.5um @100X object
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1.0~3.0um @50X object
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激光寿命
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>10年,维护间隔>6,000小时
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扫描面能量均匀性
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优于5% IR
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工作模式
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Scan扫描式
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扫描形状
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可任意定义形状
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工艺参数
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软件可以添加任意组工艺参数
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控制
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工作模式
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自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯
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手动或者半自动修复
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上下片
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机械手或者流水线
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CIM系统
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有
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减震
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主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动
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工业PC
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23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM
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通讯接口
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RS232/EtherCAT/GPIB等
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安全
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整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作
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紧急开关EMO
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限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁
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Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选)
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应用
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TFT-LCD Panel亮点的修复,OLED Panel亮点的修复
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特点:
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稳定的修复结果
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可实现局部暗化
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超快的激光
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可以编辑任意修复形状
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0.1um精度的直线电机平台
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自动AOI定位
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极小的损伤
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可做多工位设计
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1um的激光精度
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自动上下片
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