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测试技术

一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法及设备

一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法及设备

一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法及设备

技术背景




面临挑战


技术概要

专利类型:发明专利
专利号:2021108935892
High-accuracy ContactTM
技术,涉及一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法,确定各个探针点与各个测试点在X,Y轴上的位置关系.探针卡和第一视觉系统都始终处于固定的状态,因此探针不会出现运动精度不稳定的情况,提高了探针与测试点的对位精度。




技术说明


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