温度卡盘
规格/尺寸
高低温高压卡盘
高低温高压三轴槽型卡盘
规格：-60°C至200°C/-60°C至300°C；3KV/10KV
尺寸：8,12寸
特点：
开尔文三轴式(M)，3kV或10kV同轴式连接
500A脉冲同时满足-60°C至+300°C的测试温度需求
可以保证在高达万伏的高压下超低漏电、免击穿
高低温卡盘
高低温三轴槽型卡盘
规格：-50/-60℃到200℃
尺寸：8,12寸
特点：
在无制冷机的情况下，温度可低至-10℃
在有制冷机的情况下，8寸温度可低至-60℃，12寸温度可低至-55℃
仅空气 - 无液体或 Peltier 元件
模块化系统，适应个性化测试要求定制化
无需单独的吹扫空气源
兼容所有主要的生产探针和所有主要的分析探针
提供完整的硬件和软件集成
常温卡盘
常温多孔卡盘
规格：同轴/三轴/射频/高压
尺寸：4,6, 8,12寸
特点：
多区域独立吸附/三段式真空吸附
模块化系统，适应个性化测试要求定制化
兼容所有主要的生产探针和所有主要的分析探针
提供完整的硬件和软件集成
附件
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关于温度卡盘的具体详情规格资料，您可以下载我们的配件手册。
