产品概要
E 系列是一款功能进阶级探针台,能实现 1μm 以上的电极 Pad 测试,工效学设计简单易操作,灵活的UPStart™ 模块化设计,客户可通过最低的成本升级更多的测试功能,如:毫米波 mmW,FA、MEMS、WLR 和光电等测试。
基本信息
产品型号 | E4/E6/E8/E12 | 工作环境 | 开放式 |
电力需求 | 220V,50~60Hz | 操控方式 | 手动探针台 |
产品尺寸 | 680mm长*670mm宽*760mm高 | 设备重量 | 约95KG |
应用方向
LD/LED/PD的光强/波长测试、晶圆二极管、三极管测试、PCB元器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、、功率器件测试、MEMS器件测试、射频测试等
技术特点
POMater™ 自适应隔震底座
自适应减震底座设计,德国进口隔震材料增强弹性支撑,实现不同程度的刚性硬度和承载范围,并有效过滤环境中的震动源干扰,确保探针末端和样品的Pad稳定接触,提升测试的稳定性
卡盘可升降调节
卡盘可微调升降,行程 5mm,精度 10μm,便于样品快速分离探针。
显微镜气动式快速升降
显微镜气动式快速升降,便于更换显微镜和探针卡夹具。
大尺寸机台设计
大尺寸机身结构,增强操作舒适度。更大空间的针座平台,支持 加载针卡,提升点针测试效率。
机台定制应用案例
1、石英样品台6英寸,玻璃样品台卡在不锈钢上,不锈钢卡盘通过立柱固定在X-Y平移台上部 2、玻璃样品台采用高透紫外线玻璃,透光波长单位200nm-1100nm透光率85%以上,样品固定方式采用弹片固定 3、两个样品台可以拆卸使用