掩膜版Mask Cut Repair L14
产品概要
L14系列掩膜版激光切割修复设备主要是对掩膜版使用过程中的缺陷进行修复，设备以SEMISHARE领先的机器视觉系统为核心，能为高价值掩膜版mask缺陷提供高精度的修复解决方案，更大程度的节约企业的生产制造成本。
基本信息
| 产品型号 | L14 | 工作环境 | 开放式 |
| 电力需求 | AC 220V ±5% 50Hz | 操控方式 | 手动 |
| 产品尺寸 | 可定制 | 设备重量 | 可定制 |
应用方向
需要精确切割或去除特定材料层的应用场景
技术特点
掩膜版Mask Cut Repair
●能够处理包括铬、硅、氮化硅、石英、EUV材料、外来颗粒和顽固未知颗粒等各种材料的修复；
●能够在不影响掩膜版其他部分的情况下，精确地去除或修复缺陷区域；
●能够根据客户需求，提供定制化产品。
