随着我国半导体产业的高速发展,国内多个12寸晶圆厂的建立,快速激增了晶圆探针台设备的市场需求,晶圆探针台是半导体制造中WAT/CP测试环节的重要设备之一,主要用于对晶圆进行电性和光效参数测试,通过测试筛选控制芯片的良率,从而为芯片生产提质增效;
由于探针台技术门槛高,研发周期长且投入成本大,目前全球高端探针台市场仍主要被日韩等国所占据;近年来在国家对半导体产业的大力扶持下,国产化技术的发展进程不断加快,中国半导体设备企业将加速迎来国产替代的机会,在国内半导体设备市场中,探针台是我国目前最有希望能实现高国产化率的设备。
借助于机械探针台领域多年的技术经验,SEMISHARE科技早在2016年就展开了对全自动晶圆探针台项目的研发;公司先后在2019年、2020年接受了投资机构的A、B轮融资,并逐步开始布局工业级晶圆探针台领域市场。据SEMISHARE相关负责人消息,公司将计划2021年3月正式在国内推出首款晶圆级A12全自动探针台,并在上海SEMICON展会上进行首展(展位:N3馆3487),届时让我们亲临展会现场体验……
晶圆级探针台不同于LED领域应用型探针台,其设备要求的技术性能更为严苛,主要体现在测试精度,自动化程度、精密控制等方面。此次SEMISHARE公司推出的A12探针台在(晶圆自动上下片装载输送、微米级全闭环运动控制、Wafer自动精准对针、视觉自动精确校准、高速反馈通信、数据信息处理)等方面做出了创新性的技术改进,该设备提供一种全自动晶圆级针测技术( 发明专利:201910551106.3),是一款向下兼容处理12"/8"标准晶圆的WAT/CP测试设备,能为不同客户提供一个经济且稳定优异的晶圆测试方案。
A12探针台可提供支持高低温测试,设备采用采德国ERS公司的AC3 300mm 最新气冷高低控温卡盘系统,在兼具了宽泛的高低温度选项(-65℃到300℃)的同时,温度的均匀性可稳定在<+/- 0.1℃。
SEMISHARE科技A12全自动探针台的推出,将持续为中国半导体高端设备产业发展助力!未来,随着国内半导体产业进入密集建设期,5G、汽车电子、智慧家居等终端应用持续攀升,将不断刺激对半导体市场的日渐增长,进而推动探针台需求的增加。在需求增长的同时,国内企业在国家政策以及在市场的推动下将更注重研发投入,通过不断提升国产设备的技术性能与质量,以此逐步实现国产探针台的自给能力。