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LCVD激光修复机
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型号
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LCVD-G6
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LCVD-G8.5
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外形
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2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高)
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4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高)
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重量
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约7500公斤
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约10500公斤
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电力需求
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380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max
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380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max
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可修复产品尺寸
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长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm
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长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
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修复能力
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沉积材质
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W,Cr,Mo,Al
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激光特性
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激光系统
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DPSS激光切割系统
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沉积线路速度
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5~10um/s(厚度5000 Å)
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CW激光沉积系统
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单处缺陷修复时长
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定位后，修复单处缺陷时间在5s左右
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能量调节精度
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0-1000 steps
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工艺参数
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软件可以添加任意组工艺参数
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0-100%
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Cutting宽度
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2um到50um可调
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Slit 窗口调节大小
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0~2.4mm
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沉积宽度
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3um到30um可调
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Slit 窗口控制精度
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1um
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沉积边缘精度
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+-0.5um
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激光能量校准方式
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自动校准
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沉积厚度
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2000 Å ~15000Å可调
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校准时间
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3mins
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沉积线路的电阻值
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<65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å)
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激光能量校准精度
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优于2%
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沉积稳定性
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1.清洗机清洗次数>10 times
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激光波长
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Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm
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2.棉签蘸丙酮擦拭>500次
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CVD CW laser :NUV/UV
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3.强酸碱测试>1H
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脉宽
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< 12 ns
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3.毛刷擦拭>1H
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光斑尺度
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2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试)
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4.超声波1MHZ>1H
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扫描面能量均匀性
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优于5% IR
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平台功能
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Gantry结构
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龙门式
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激光寿命
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Cut Laser:10亿次激发
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X-Y-Z运动行程
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LCVD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z)
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CVD CW laser: 8000小时
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LCVD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
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修复工作模式
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Scan扫描式和 Step模式
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X-Y运动速度
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0~400mm/s可调
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扫描路径
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可任意定义路径
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精度(最小移动量)
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0.1um
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控制
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工作模式
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自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复
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Z 运动速度
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0~2mm/s可调
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精度(最小移动量)
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0.1um
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上下片
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机械手或者流水线
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重复定位精度
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+-5um
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CIM系统
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有
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修复对位精度
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0.1um
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减震
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主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
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光学特性
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光路系统倍率：
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50X~ 1000X
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5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects
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工业PC
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23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM
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光学分辨率
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0.7um
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物镜切换速度
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0.2~0.7s
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通讯接口
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RS232/EtherCAT/GPIB等
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切换镜头偏差
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小于3um
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安全
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整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作
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聚焦
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激光自动聚焦
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紧急开关EMO
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相机
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200万像素
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限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁
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照明
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平台有下光源，并且能够上下光源切换，屏蔽罩内安装照明，照度达到1000lux以上。
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Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)
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应用方向
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TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复
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特点：
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稳定的修复结果
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功能丰富的软件
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超高的修复精度
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可以编辑修复形状
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0.1um精度的直线电机平台
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自动AOI定位
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极小的损伤
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可做多工位设计
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1um的激光精度
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自动上下片
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