M系列小型手动探针台

产品概要

M 系列探针台简易轻便，占有空间小且移动方便。在保证测试精度的前提下，又极具性价比，非常适合高校教学实验使用。如果测试器件的PAD 点大于30μm，M 系列则是其中的主选设备之一。该设备能胜任各种DC 直流，至67GHz 的RF 射频，MEMS 等测试应用。

基本信息

广泛应用于DC直流/（IV、CV、I-t、V-t），DC直流/低电流（100fA级）测试，1/f噪声测试，器件表征测试，RF射频等

封闭式移动平台设计，防尘，防误操作，结构美观；移动平台采用THK精密丝杠传动+线性移动+无间隙回程差设计+卡盘锁紧功能，多方面提升卡盘移动精度

采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附环固定样品，卡盘每个真空通道均可独立控制。标准卡盘中心吸附孔为1mm直径，亦可根据客户要求定制。同时卡盘角度可360旋转，微旋转调节精度0.002°，方便调节待测样品位置

自适应减震底座设计，德国进口隔震材料增强弹性支撑，实现不同程度的刚性硬度和承载范围，并有效过滤环境中的震动源干扰，确保探针末端和样品的Pad稳定接触，提升测试的稳定性

型号		M4	M6	M8
外形（长宽高）		650490620mm	650490620mm	766500651mm
重量（KG）		约45kg	约52kg	约90kg
电力需求		220V AC,50~60Hz
卡盘常温标准	卡盘尺寸	4"	6"	8"
	样品固定方式	环形真空吸附（可定制多孔吸附）
	背电极测试功能	有/样品台电学独立悬空
	卡盘材质	316#不锈钢（可选黄铜镀镍 or 镀金）
卡盘移动平台	X-Y行程	100*100mm	150*150mm	200*200mm
	移动精度	10μm
	Theta行程	+45°旋转；微调范围±8°；微调精度0.01°


	控制方式	小型旋钮驱动
针座平台	平台尺寸	长540mm*宽310mm
	卡盘到平台距离	8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
	针座数量	最多可放置6针座（DC×6/RF×4,DC×2)

	针座定位方式	磁力吸附或真空吸附
光学特性	显微镜规格	标配体视显微镜（可选配视频显微镜）
	放大倍数	16~100X
	CCD像素	2种CCD可选:200W（数字）/800W（数字）
	显微镜控制行程	显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：50.8mm


点针规格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	机械精度	10μm/2μm/0.7μm
	漏电精度	同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃；三轴10pA/V @3kv @25℃，测试条件：接地屏蔽的干燥环境（空气露点低于-40℃）
	接口形式	香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口

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