四探针方块电阻测试系统是一种高精度的测量设备，具备可靠性好、操作简便等优点，对于微电子器件的设计、生产和质量控制具有重要意义。
| 产品型号 | SR8/SR12 | 工作环境 | 常高温，屏蔽 |
| 电力需求 | / | 操控方式 | 全自动 |
| 产品尺寸 | 可定制 | 设备重量 | 可定制 |
半导体材料、太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）、新材料、功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）、导电薄膜（金属、ITO等）、硅相关薄膜(LTPS等）、扩散层测试、其他（*详情请与我们联系）
●SR8兼容6/8寸晶圆，SR12兼容8/12寸晶圆
●按照产线全自动量测性能设计，测试效率高
●单/双探头配置，适合不同应用场景
●可选配SECS/GEM厂务通讯协议
●符合ASTM and JIS 行业标准
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型号 |
SR8/SR12 |
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样品尺寸 |
＜Circle＞ 150mm(6inch),200mm(8inch),300mm(12 inch) ＜Square＞ 730x920mm or customer design |
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测量范围 |
[R] 1μ~3M Ω・cm [RS] 5m~10M Ω/sq |
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Loadport |
单/双 port |
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探头 |
单/双探头 |
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行业标准 |
ASTM and JIS |
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通讯接口 |
SECS/GEM |
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功能配置 |
Clean pad，E1/E2相机，温度卡盘，晶圆厚度测量等 |
暂无数据
