助力中国芯视界 设备成功交付
5月9日，由SEMISHARE自主研发精工打造的Flex系列OLED全自动激光修复设备在森美协尔深圳总部总装完成，并成功交付面板厂商客户使用。森美协尔依托在探针台/激光修复设备领域的核心技术优势，以客户为中心，不断技术创新，持续优化升级产品功能与性能，自主研发打造OLED多功能全自动激光修复设备，全面助力中国智造“芯视界”。
聚焦技术创新 自主研发精工打造
SEMISHARE Flex系列OLED全自动激光修复设备主要是对Panel形态/模组形态的产品（硬板/柔性）进行亮点的激光修复，并实现自动化，人工稍微干预的一款激光应用设备。该设备精度高、性能优、功能强大、反应快速，使用操作便捷、结构紧凑、布局合理、运行稳定可靠；设备采用Stage-A,Stage-B双工位分时交替操作结构，合理利用了人工复判的时间，大大提高了整个机器的修复效率。
1、自动上下料，4轴机械手，搭配XY运动单轴，模组实现产品的转移在载物台，精度≤0.1mm，最大速度≤500mm/s；
2、载物台运动机构采用直线电机与光栅尺，实现XY轴方向运动重复精度≤0.003mm，最大速度≤600mm/s
3、样品自动聚焦显微镜，XY小行程高精度平台，精度≤0.001mm，最大速度≤100mm/s；
4、Panel形态采用点灯Block机构，模组形态Jig机构，点亮人工干预位置，安全光幕，人工干预，安全光幕信号提供运动停止保护；
5、XY轴带动载物台移置激光修复位置，软件通过VCR读码，在上位机AOI取得缺陷坐标数据，进行激光修复；光学系统显微镜WDI自动聚焦，激光纳秒（ESI等）；
6、修复人工复判位置，激光修复完毕，对于修复产品进行人工复判，归纳NG/ok
02 设备亮点
CCD采集和图像自动校准
实时自动聚焦
AOI 图像自动识别
自动上下料
运动精度±1um
定位精度≤±5um
激光扫描精度≤±0.2um
Slit精度≤±1um
自动聚焦物镜切换中心偏移≤±1um
突破进取 助力中国智造中国芯•未来梦
森美协尔秉承追求卓越，精益求精的企业精神，团队日以继夜孜孜不倦，攻坚克难，确保产品以最优的性能与品质，按时交付于客户使用，助力面板厂商提升产品修复效率，提高产品良率和品质。
SEMISHARE团队在调试设备中
以技术创新为驱动，森美协尔聚焦半导体检测设备领域，不断突破进取，自主研发打造晶圆探针台与激光修复设备两大产品版块，为客户提供全方位的产品技术解决方案，助力中国智造中国芯•未来梦。