项目背景
各种半导体材料和器件已被广泛应用于航空航天飞行器、医学领域、核控制系统中。然而,这些微电子设备在强辐射环境中面临挑战,例如太空辐射和人造辐射。辐射对它们的可靠性产生影响,可能导致部分甚至整个电子系统发生故障。因此,为了确保这些特殊的微电子器件在恶劣的辐射环境中能够稳定工作,必须对半导体材料和基础元器件进行辐射和抗辐射性能的研究。
同时,X射线可以穿透物质并提供有关其内部结构和组成的信息。对于相同能量的常见电离辐射,X射线是很难被屏蔽的,且会对人体造成伤害。 因此,建立一个安全可靠、多功能用途的X射线辐照半导体器件测试探针台系统尤为重要。
集成配置
SEMISHARE总体设计方案,将X射线辐射系统【X 射线发生器(含高压电源和灯丝加热电源)、X射线控制器、X 射线灯管和水冷系统】,探针台系统(精密点针平台,微光成像系统,稳定防震系统),光学成像系统和软件自动化控制系统有机的结合在一起,通过多Z轴电动运动的方式进行集成设计,先后完成高稳定性的微观扎针和X射线辐照。
该测试系统不仅具有普通探针台的测试功能,而且能方便地、安全地实现以下功能:
光子辐射芯片的测试。
特定结构器件的基本辐射响应分析。
用实验结果跟踪给定工艺的加固情况。
迅速提高批量生产的芯片的加固情况反馈。
集成配置案例
高精度的衍射角度测量系统,获取更准确的测量结果。SEMISHARE X射线辐照探针台,可以搭配手动的E、M、H、C、CG全系列探针台,可以在常温,常高温,高低温,真空高低温等不同测试环境使用。
集成方案适合于晶圆级辐射研究,也可用于照射已经封装的产品。
各种功能附件满足不同测试目的需要。
硬件系统和软件系统的完美结合,满足不同应用领域学者、科研者的测试需要。
优势亮点
SEMISHARE拥有自研多种型号探针台,可以配置高温、低温和真空等多种测试环境。
高精度的衍射角度测量系统,获取更准确的测量结果。
高稳定性的X射线发生器控制系统,得到更稳定的重复测量精度。
程序化操作、一体化结构设计,操作简便、仪器外型更美观。
灵活移动的显示器和控制平台,便捷多方位角度的扎针动作。
特制屏蔽箱防止X射线对操作人员的伤害。
操作简单,调节方便,通过面板进行参数设置与操作,可精确控制辐射剂量率,且可调辐射剂量率范围较大。
设备安全性好,仪器周边的辐射量与普通环境一致。
拥有优秀的自由集成性,例如拉伸牵引、激光测振、激光切割、X射线和γ射线辐射等装置,可专门为特殊领域的研究测试提供一个完美可靠的测试平台。