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  • 测试技术

    高校教育实验

    高校教育实验的4-6寸晶圆测试解决方案

    1.1.1.技术背景

    晶圆(IV、CV、P-IV)测试广泛用于测量半导体参数,尤其是晶圆级MOSFET结构等。此外利用IV、CV、P-IV测量还可以对其它类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管BJT、JFET器件,光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管和多种其它半导体器件。这类测量的基本特征非常适用于各种应用,提高工艺和器件的性能,检测工艺参数和失效分析机制等。

    1.1.2.需求与挑战

    近年我国对于半导体产业的重视和大力度的资源投入,其中大学实验室的硬件设施升级改造更新则更是重点投入之一,但因大学教育在资源投入配比上更多出于成本考虑,因此我们既要在预算有限的条件下,不仅要保证设备测试测量的高精度标准,同时也要考虑产品今后的重复利用率,避免资源浪费。通过多年在大学院校积累的市场及合作经验,总结教育实验的探针台设备应有如下指标:

    合理性

    ● 基于大学实验室环境要求,设备在保证高精度测试的前提下,节省设备占有空间
    ● 不降底专业测试标准质量前提下,提供更具有价格竞争力的探针台设备

    专业性

    ● 操作更简单方便
    ● 最大限度减少使用操作培训工作量
    ● 结构稳定,测试精度高
    ● 可快速获取测量数据

    灵活性

    ● 可模块定制,针对多种的应用实现简易的重新配置和升级
    ● 适应性强,当需求提高和增加时,可重新进行设备升级和功能扩展

    1.1.3.解决方案
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