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    高功率器件测试

    高功率器件测试

    1.1.1.技术背景

    高功率分离式元件(例如功率电晶体、功率二极体、闸流体等且元件方向性为垂直/横向者)或高功率放大器之电性量测皆属高功率元件测试。



    1.1.2.需求与挑战

    以 500 V(高电压)以上及/或 1 A(高电流)以上之脉衝或直流电进行量测。高功率元件的晶圆特性描述应用面临以下挑战:晶圆载台至晶圆背面之接触电阻/高电流元件金属垫层烧坏毁损/在高电压及各温度条件下进行低漏电流量测/高电压电弧/薄晶圆处理/安全的测试环境


    1.1.3.解决方案
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