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    LCVD面板激光修复机

    产品概要

    LCVD面板激光修复机主要是为LCD显示屏的工艺不良及缺陷而设计的自动化修复设备。设备以SEMISHARE领先的机器视觉系统为核心,能为LCD成品\半成品的显示屏缺陷提供高精度修复且低成本的解决方案,更大程度的提升企业经营效率。

    基本信息

    产品型号 LCVD-G6 | LCVD-G8.5 工作环境 开放式
    电力需求 380V,50Hz,3Phase,approx.40AMax / 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max 操控方式 全自动
    产品尺寸 2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高) 设备重量 约7500KG

    应用方向

    TFT-LCD和OLED Array Panel线路开路和短路的修复,Mask的缺陷修复

    技术特点

    产品特点

    ●高倍率光学影像识别,自动校准聚焦 ●激光系统可视化操作,大大提高修复效率 ●直线电机结构,1um激光精度,高速静音 ●自动AOI定位 ,自动上下片 ●丰富的软件测试功能,机械系统高精度校准 ●修复形状可编辑,可多工位设计 ●领先的内部防震系统装置,运行更稳定 ●电学屏蔽系统,屏蔽光线和电磁干扰

    LCVD激光修复机
    型号 LCVD-G6 LCVD-G8.5
    外形 2,850mm()x2,500mm()x2,500 mm() 4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高)
    重量 7500公斤 10500公斤
    电力需求 380V50Hz, 3Phase, approx. 40A Max 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max
    可修复产品尺寸 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
    修复能力 沉积材质 W,Cr,Mo,Al 激光特性 激光系统 DPSS激光切割系统
    沉积线路速度 5~10um/s(厚度5000 ) CW激光沉积系统
    单处缺陷修复时长 定位后,修复单处缺陷时间在5s左右 能量调节精度 0-1000 steps
    工艺参数 软件可以添加任意组工艺参数 0-100%
    Cutting宽度 2um50um可调 Slit 窗口调节大小 0~2.4mm
    沉积宽度 3um30um可调 Slit 窗口控制精度 1um
    沉积边缘精度 +-0.5um 激光能量校准方式 自动校准
    沉积厚度 2000 ~15000Å可调 校准时间 3mins
    沉积线路的电阻值 <65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 ) 激光能量校准精度 优于2%
    沉积稳定性 1.清洗机清洗次数>10 times 激光波长 Cut Laser :IR 1064nmGRN 532nmUV 266nm
    2.棉签蘸丙酮擦拭>500 CVD CW laser :NUV/UV
    3.强酸碱测试>1H 脉宽 < 12 ns
    3.毛刷擦拭>1H 光斑尺度 2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试)
    4.超声波1MHZ>1H 扫描面能量均匀性 优于5% IR
    平台功能 Gantry结构 龙门式 激光寿命 Cut Laser:10亿次激发
    X-Y-Z运动行程 LCVD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) CVD CW laser: 8000小时
    LCVD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) 修复工作模式 Scan扫描式和 Step模式
    X-Y运动速度 0~400mm/s可调 扫描路径 可任意定义路径
    精度(最小移动量) 0.1um 控制 工作模式 自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯手动或者半自动修复
    Z 运动速度 0~2mm/s可调
    精度(最小移动量) 0.1um 上下片 机械手或者流水线
    重复定位精度 +-5um CIM系统
    修复对位精度 0.1um 减震 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动
    光学特性 光路系统倍率: 50X~ 1000X
    5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects 工业PC 23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM
    光学分辨率 0.7um
    物镜切换速度 0.2~0.7s 通讯接口 RS232/EtherCAT/GPIB
    切换镜头偏差 小于3um 安全 整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作
    聚焦 激光自动聚焦 紧急开关EMO
    相机 200万像素 限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁
    照明 平台有下光源,并且能够上下光源切换,屏蔽罩内安装照明,照度达到1000lux以上。 Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选)
    应用方向 TFT-LCD OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复
    特点:
    稳定的修复结果 功能丰富的软件
    超高的修复精度 可以编辑修复形状
    0.1um精度的直线电机平台 自动AOI定位
    极小的损伤 可做多工位设计
    1um的激光精度 自动上下片
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