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    失之毫厘,谬以千里,SCG 高低温真空探针台助力芯片科技未来

    发布时间:2020-08-27来源: SEMISHARE

    新芯片时代

    当时代科技的产物日益渗透人们的未来生活,生态产业不断衍生,5G、人工智能、智慧城市,万物互联,高精尖技术不断升级、产品不断迭代更新,赋予了未来智慧生活更多的可能。芯片作为智能载体激活了海量的市场需求,同时全球贸易摩擦,国内半导体产业面临着新型芯片及先进制程产能扩张挑战,同时也迎来重大机遇。


    高精尖产业技术的运用

    伴随着芯片尺寸及线条的缩小,对测试设备的要求也变得越来越高,差之毫厘,则谬之千里,半导体材料器件的测试也变得越发重要。其中晶圆测试是半导体芯片走向产品进入市场的最后几个工序之一,对其后的封装等工序在时间及物料成本控制等诸多方面起着至关重要的作用。
    晶圆测试通常需要对晶圆上的集成电路进行电学性能测试,以判断集成电路是否良好。在测试进程中,通过探针台与测试机配合使用,对晶圆上的芯片进行功能及电参数性能测试,由探针台将晶圆逐片自动传送至测试位置,芯片Pad 点通过探针、专用连接线与测试机功能模块进行连接,测试机对芯片施加输入信号、采集输出信号,判断芯片在不同工作条件下功能与性能的有效性。测试结果通过通信接口传送至探针台,探针台据此对芯片进行打点标记,形成晶圆 Map图。


    黑科技助力,智见未来

    随着集成电路复杂度的增加,对探针台也提出了更高的要求,高精尖产业,技术创新突破,才能无惧挑战。森美协尔以自主创新技术,不断产品升级迭代,攻克技术壁垒,打造简易操作、快速检测,精准测量、运行稳定四大特色黑科技探针台测试设备,全面助力半导体晶圆测试领域,实现快速测试效率提升,有效控制测试成本,为更具挑战的芯片时代助力。
    以SEMISHARE公司旗下一款设备为例( SCG 高低温真空探针台),接下来我们将简单与您分享它的技术亮点之处,感受不一样的行业黑科技。
    1. 真空腔体外腔与屏蔽腔双腔体结构,为样品测试提供极限压力10-4Pa真空环境(当使用分子泵时)。
    2.探针臂XYZ调节系统自锁丝杠与交叉滚子导轨结构,精确探针定位10um,探针漂移量优于±60nm/30mins高精度点针;同时三轴管夹具与高屏蔽功能三轴线缆,测试漏电精度达50FA。
    3.空气弹簧式支撑架防震系统,有效避免细微低频率频带振动带来的测试影响。
    4.显微镜调节支架自由伸缩与高低并自带调节座,可任意区域观测样品;20倍目镜及0.8-5倍物镜变焦倍率,实现样品16X-100X放大倍率。

    5.制冷剂同轴回路抑制制冷剂提前消耗,提高制冷效率,减少制冷剂消耗;同时制冷系统调节精密针阀,自动控制流量,自动控温。






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