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    A12全自动探针台

    产品概要

    支持Sic/Gan晶圆测试,大功率晶圆测试; 更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试; 可与仪器仪表系统进行集成; 可升级高低温测试环境测试

    基本信息

    产品型号 A12 工作环境 开放式
    电力需求 220VAC±10V/50Hz/2.2KW 操控方式 全自动
    产品尺寸 1660mm W x 1770mm D x 1015mm H ; 1660mm W x 1700mm D x 1455mm H(Loader) 设备重量 1700kg

    应用方向

    晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等

    技术特点

    产品特点

    ●超高的测试精度与测试速度,大大提升产能效益 ●全自动化系统运行,快速安全可靠测试 ●支持单点测试和连续测试 ●综合控制系统,快速接入仪器测试 ●CHUCK高效测试系统,运行速度超300mm/s ●丰富的软件自动化测试 ,机械精度精确校准 ●可升级自动wafer厚度测量和ID读卡 ●领先的内部防震系统装置,运行更稳定

    Prober
    Wafer 支持12 8
    厚度(T) : 350μm to 2200μm
    质量:500g
    XYstage 行程:X: ±170mm  Y-180  +600mm
    重复精度:≤±1μm
    精度:≤±2μm
    速度: 240mm/s
    Zstage 行程:80mm  Contact : 60 to 80mm
    精度:≤±2μm
    分辨率:0.02μm
    速度: 240mm/sMAX
    承受载荷:200KG
    θ Stage 范围:±10°
    精度:0.00001°
    传输Wafer: -10°
    Chuck平面度 10μm  20 to 50 
    20μm  50 to 200 
    支持:高低温Chuck, 常高温Chuck,高压Chuck
    通用需求
    电力 220 VAC, 50/60Hz5.5KW
    真空 压力:-53 to -100Kpa
    流量:≥21L/min(标准)
    接口:φ6 / φ4
    压缩空气 压力:0.4 to 0.8Mpa
    流量:≥27L/min(标准)
    接口:φ8
    风扇排量 5000L/min max
    噪音 ≤70dB
    Lodering
    Cassette 满足SEMI标准 300mm FOUP /200mm Cassette
    ARM12 Upper ARM  Lower ARM
    最大行程:500mm
    最大速度:400mm/s
    重复精度:≤±30μm
    ARM旋转 行程 ≥180°
    最大速度:120°/s
    重复精度:≤0.005°
    Loder Z 行程:400mm
    最大速度:200mm/s
    重复精度:≤±30μm
    设备相关尺寸
    1660mm W x 1770mm D x 1015mm H ; 1660mm W x 1700mm D x 1455mm H(Loader)
    重量:2.2T
    平面度≤ ±5微米  8Chuck
    平面度≤ ±10微米  12Chuck
    其它配置
    显示器:15寸触摸屏,彩色 ,中文
    内存  1TB
    操作界面:Windows系统
    通信方式:GPIB , ETHERNET RS-232
    可选附件
    自动清针台
    兼容高频测试头
    晶圆ID识别功能
    不同环境下的要求Chuck (常温,常高温,高低温,高压等Chuck)
    匹配自动搬运Cassette  AGV
    手持扫码枪
    点墨组件
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