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    M4简易型手动探针台

    产品概要

    一款基于高校教育与实验室的经济型晶圆测试探针台 人体工程学设计操作简单 ,紧凑的结构设计大大降低了设备占有空间,在保证高精度测试的前提下,又极具性价比,如果您的测试PAD大于30um,M系列则是您在实验室中的首选设备之一。 UPStart模块化结构设计,可增加多个配件实现更多的性能,同时支持后期扩展加载升级。

    基本信息

    产品型号 M4 工作环境 开放式
    电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台
    产品尺寸 400mm长*400mm宽*550mm高 设备重量 约30KG

    应用方向

    广泛应用于晶圆的电学光学测试,包括I-V/C-V测试,RF/mmW测试,高功率、大电流测试,MEMS、光电器件测试,晶圆级失效分析、霍尔测试等

    技术特点

    > 灵活的应用设计

    紧凑且坚固的框架结构设计,性能稳定; 操作简单入手快 ,减少设备使用培训时间; UPStart模块化结构,支持设备后期扩展升级; 显微镜支架可360旋转,方便快速装载DUT; 卡盘角度可360旋转,微旋转调节精度0.002°,方便调节待测样品位置

    > 全新升级的卡盘移动平台

    封闭式移动平台设计,防尘,防误操作,结构美观; 移动平台采用THK精密丝杠传动+线性移动+无间隙回程差设计+卡盘锁紧功能,多方面提升卡盘移动精度

    >带有3段真空吸附控制的卡盘

    采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附环固定样品,卡盘每个真空通道均可独立控制。标准卡盘中心吸附孔为1mm直径,亦可根据客户要求定制。同时卡盘角度可360旋转,微旋转调节精度0.002°,方便调节待测样品位置

    > 坚固的TNT结构针座平台

    在针座平台中心采用TNT式立柱结构支撑,配合加厚级铝合金材料提高刚性度,形成更加坚固稳定的针座平台,实现更最佳的测量效果

    > 自适应减震底座

    自适应减震底座设计,德国进口隔震材料增强弹性支撑,实现不同程度的刚性硬度和承载范围,并有效过滤环境中的震动源干扰,确保探针末端和样品的Pad稳定接触,提升测试的稳定性

    M4简易型手动探针台

    型号

    M4

    M6 mini

    M6

    外形

    400mm*400mm*550mm

    400mm*400mm*550mm

    680mm*530mm*550mm

    重量

    30KG

    35KG

    45KG

    电力需求

    220VC,50~60Hz

    样品台

    尺寸

    4英寸,可360度旋转

    6英寸,可360度旋转

    6英寸,可360度旋转

    X-Y行程

    4*4英寸

    4*4英寸

    6*6英寸

    移动精度

    10um

    样品固定方式

    真空吸附

    背电极测试功能

    有,样品台电学独立悬空

    针座平台

    U型平台,最多可放置6个针座

    U型平台,最多可放置8个针座

    光学特性

    显微镜行程

    360度旋转,Z轴:50.8mm

    放大倍数

    16~100X 200X可选)

    CCD像素

    50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

    点针规格

    X-Y-Z行程

    12mm-12mm-12mm

    机械精度

    10微米/2微米/0.7微米

    漏电精度

    10pA/100fA (配置屏蔽箱时)

    接口形式

    香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口

    可选附件

    加热台

    光强/波长测试选件

    屏蔽箱

    射频测试附件

    转接头

    有源探头

    防震台

    低电流/电容测试选件

    镀金卡盘

    兼容积分球测试选件

    同轴/三轴卡盘

    光纤夹具耦合测试选件

    样品台快速升降,微调升降装置选件

    PCB/封装夹具测试选件

    样品台旋转微调选件

    特殊定制

    应用方向

    芯片及LD/LED/PD测试,PCB/封装器件测试,射频测试等。

    特点

    紧凑的结构

    同轴丝杠传动结构,线性移动

    轻巧的质量

    无回程差设计

    实惠的价格

    10微米以上电极/PAD测试

    高等院校/研究所实验室使用

    LD/LED/PD的光强/波长测试

    最大可用于6英寸以内样品测试

    材料/器件的IV/CV特性测试

    客户服务
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