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    助力芯片产业加速,森美协尔精彩亮相SEMICON China 2020

    发布时间:2020-08-18来源: SEMISHARE

    6月27日,全球最大的国际半导体展SEMICON China 2020在上海新国际博览中心如期盛大开幕。

    森美协尔携旗下三款SCG系列高低温真空探针台、SH系列高配置分析探针台、SX系列半自动量产型探针台精彩亮相展会,为大家现场分享半导体的先进测试技术与产品应用,一起体验高端科技带来的震撼体验。


    现场,森美协尔展位反响热烈,先进的探针台测试设备吸引了众多专业观众前来驻足观摩、咨询体验产品,大家对森美协尔的探针台测试设备充满了兴趣和期待,并给予了高度的认可与进一步的合作意向。


    作为全球先进的晶圆探针台制造商,森美协尔以技术创新为驱动,在持续多年的市场与技术积累上,用自主创新的技术,不断技术创新、产品升级迭代,持续研发推出旗下两大测试测量系列产品;


    涵盖手动、半自动、全自动、高低温、真空、磁场、光电等同步全球先进测试技术的晶圆探针台与激光面板修复设备,为半导体产业各大主流领域厂商、高校实验室与科研研究所提供精准、高效、可靠的测试测量设备与技术解决方案。



    SEMISHARE全球先进的测试技术  助力芯片产业加速发展



    ■ SCG系列高低温真空探针台

    产品亮点:

    •温控范围:77K-770K,温度稳定性优于±0.1K ,温控器分辨率为0.1℃,传感器任一区段误差为0.5%;

    •X-Y-Z三方向移动,行程均为25mm,定位精度10μm;

    •探针漂移量<±60nm/30mins;

    •光学显微20倍目镜及0.8-5倍物镜变焦倍率,16X-100X放大倍率;

    •漏率优于1.3x10-10Pa.m3/s 极限真空到10-4Pa(当使用分子泵时);

    •漏电精度达100FA;

    •液氮罐可调节压力,制冷系统调节精密针阀,自动控制流量,自动控温;

    •空气弹簧式支撑架防震系统,有效避免细微低频率频带振动带来的测试影响;

    应用方向:高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等

    客户对象:科研教育院校/研究所公司实验室



    ■ SH系列高配置分析探针台

    产品亮点:

    •大手柄同轴驱动CHUCK,移动精度高;

    •显微镜X-Y无后座力移动;

    •20~4000X光学显微镜放大,快速倾仰30度 ;

    •漏电精度达100FA(配置屏蔽箱时);

    •可使用探针卡测试;

    •针座平台可快速升降和微调,快速芯片测试;

    应用方向:晶圆、LD/LED/PD测试、 PCB/封装器件测试、芯片内部线路/电极/PAD测试、射频、高频、高压/大电流测试等

    客户对象:科研教育院校/研究所公司实验室



    ■ SX系列半自动量产型探针台

    产品亮点:

    •CHUCK机械运动系统精度与速度行业最高:运行速度>70mm/s,精度≤1μm;

    •Chuck手动上片及校准,清针模块;

    •可-60℃~300℃变温,温度精度和稳定性均优于0.1℃;

    •三倍率同焦显微镜系统及侧边显微镜,光学放大倍率为:0.6*5X;2.5*5X;9*5X;

    •超高测试精度及效率Index time≤500ms;

    •低噪声≤50dB;

    •自动Wafer align,自动die size测量,自动wafer mapping;

    •一键式自适应四轴Chuck精度校准,支持微米级pad点测;

    •自动温度补偿功能,便捷的系统集成功能;

    应用方向:各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试、大功率晶圆测试等

    客户对象:科研教育院校/研究所实验室/芯片设计公司


    以技术创享未来,助力芯片产业加速发展,森美协尔将一如既往,立足中国,面向全球,持续为更多的合作伙伴提供先进的晶圆探针台测试测量设备与技术解决方案,成为更多行业客户值得信赖的合作伙伴。




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